特許

J-GLOBAL ID：200903023426511237

電子放出素子の製造方法、電子放出素子、該素子を用いた電子源、表示パネルおよび画像形成装置

発明者： 小林 登代子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177215
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012136
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 導電性膜の製造工程を簡略化し、低コストの電子放出素子の製造方法、および電子放出特性が良好な電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法を提供する。【解決手段】 基板上の対向する電極間に、導電性膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与し、加熱焼成工程を経て導電性膜を形成し、さらに該導電性膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、前記液滴が接触する面を疎水化処理することを特徴とする電子放出素子の製造方法、該方法によって得られた電子放出素子を用いる電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上の対向する電極間に、導電性膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与し、加熱焼成工程を経て導電性膜を形成し、さらに該導電性膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、前記液滴が接触する面を疎水化処理することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 B ,  H01J 31/12 C