特許
J-GLOBAL ID：200903023427941278
三次元比較測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-298617
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060543
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】〔目的〕 測定対象物の計測データと比較するマスターの基準データを、計測時の温度変化に応じて再計測及び更新登録することにより、温度変化に起因する比較測定誤差を減少させる。〔構成〕 測定対象物とプローブとを三次元的に相対移動して、ワークの所定測定点に於ける座標値を計測し、これを予め計測して記憶されているマスターの所定測定点に於ける座標値と比較して、その減算値が許容公差内にあるかどうかを判別する比較測定手段に加えて、ワーク計測時の温度変化を検知、または予測し、この指令によりマスターの座標値を計測し直して記憶済みの基準データを更新して行く温度較正機能を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
計測台上に保持した計測対象物と、測定装置のスライダに支持されたプローブとを、互に直交するX・Y・Z軸方向に相対移動させる三次元測定法に於いて、各測定対象物(以下ワークと云う)の所定測定点にプローブの測定子を当接し、この当接点に於けるX・Y・Z座標値を、予め測定して記憶されているモデル測定物(以下マスターと云う)の対応測定点に於けるX・Y・Z座標値と比較して、その減算値を求める比較演算手段と、予め設定されている各測定点の許容公差内に前記減算値があるかどうかを判別する比較判別手段と、この判別結果を任意の形態で記録、表示する手段を有し、更に計測時の温度変化を検知または予測して、マスターの所定測定点に於けるX・Y・Z座標値を計測し直し、前記記憶済みのマスター座標値を適宜更新するマスター座標値更新手段とを具備したことを特徴とする三次元比較測定装置。
IPC (2件)：
G01B 21/00
, G01B 21/20 101
