ピラニ真空計の圧力測定回路

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306353
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124651
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】フィラメント25の断線を検出できる圧力測定回路を提供する。【解決手段】この圧力測定回路1は、ピラニ真空計20のフィラメント25を組み込んだ抵抗ブリッジ回路5に、第1の増幅器31が接続されており、第1の増幅器31の負帰還動作により、抵抗ブリッジ回路5には、フィラメント25の温度が一定に維持されるように通電される。通常の状態では、出力端子が抵抗ブリッジ回路5から電気的に切り離されている第2の増幅器32を設け、フィラメント25が断線したときに、ピラニ真空計20の出力範囲を超える高電圧を出力させる。フィラメント25が断線した場合に、第1の増幅器31の出力端子が電気的に切り離されるようにしておくと、第2の増幅器32の出力電圧が優先され、シーケンサー39は断線を検出することができる。

請求項（抜粋）：

ピラニ真空計のフィラメントを抵抗の一つとし、2個の出力端子を有する抵抗ブリッジ回路と、前記フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、前記フィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなるように、反転入力端子と非反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記2個の出力端子にそれぞれ接続された第1の増幅器とを有し、前記第1の増幅器の出力電圧の大きさ応じた電圧が、前記抵抗ブリッジ回路に印加されるように構成された圧力測定回路であって、前記第1の増幅回路の出力端子と前記抵抗ブリッジ回路の間に第1のダイオード素子が挿入され、前記抵抗ブリッジ回路には、前記フィラメントが断線したときに前記抵抗ブリッジ回路に大きな電圧を印加させる第2の増幅器が接続された圧力測定回路。

IPC (2件)：

G01L 21/12 , G01R 31/02

FI (2件)：

G01L 21/12 , G01R 31/02

Fターム (12件)：

2F055AA11 , 2F055BB08 , 2F055CC43 , 2F055EE39 , 2F055FF31 , 2F055FF49 , 2F055GG31 , 2G014AA02 , 2G014AB25 , 2G014AB27 , 2G014AB52 , 2G014AC18

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭58-169044
特開昭58-169044
特開平3-255926

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