特許
J-GLOBAL ID:200903023437142837

レーザドップラー速度測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 智廣 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-250961
公開番号(公開出願番号):特開平8-114673
出願日: 1994年10月17日
公開日(公表日): 1996年05月07日
要約:
【要約】【目的】 被測定物表面の凹凸によるノイズの影響をなくし、高精度な被測定物の速度変動を検出することが可能なレーザドップラー速度測定装置を提供することを目的とする。【構成】 複数の受光手段から出力される受光信号からドップラー信号を検出する複数のドップラー信号検出手段と、この複数のドップラー信号検出手段から出力される各速度信号に対してフーリエ変換を行い、各速度信号の周波数成分及び位相を求めるフーリエ変換手段と、このフーリエ変換手段によって求められた各速度信号の周波数成分及び位相から、各速度信号のうち同一位相の周波数成分を検出する位相比較制御手段とを備えるように構成した。
請求項(抜粋):
被測定物上の隣接した複数の照射位置に、各照射位置毎に同一のレーザ光を複数本に分離したうちの2本のレーザ光を所定の角度を成して当該照射位置で交差するように照射して、少なくとも被測定物上の同一の照射位置に照射される2本のレーザ光が同一のレーザ光を分離したものとなるように設定し、上記被測定物上の各照射位置で散乱される散乱光を複数の受光手段によって受光して、当該受光信号からドップラー信号を検出して被測定物の速度を測定するレーザドップラー速度測定装置において、上記複数の受光手段から出力される受光信号からドップラー信号を検出する複数のドップラー信号検出手段と、この複数のドップラー信号検出手段から出力される各速度信号に対してフーリエ変換を行い、各速度信号の周波数成分及び位相を求めるフーリエ変換手段と、このフーリエ変換手段によって求められた各速度信号の周波数成分及び位相から、各速度信号のうち同一位相の周波数成分を検出する位相比較制御手段とを備えたことを特徴とするレーザドップラー速度測定装置。
IPC (2件):
G01S 17/58 ,  G01S 7/48

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