特許
J-GLOBAL ID:200903023439064850
積層型固体撮像装置及びそれを用いたカラーカメラ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-072084
公開番号(公開出願番号):特開平9-261671
出願日: 1996年03月27日
公開日(公表日): 1997年10月03日
要約:
【要約】【課題】 積層型固体撮像素子において温度が変化したときの赤、緑、青の各波長における感度の変化量を一定にする。【解決手段】 本発明の積層型固体撮像装置においては、第1の電極6及び第2の画素電極10の間に均一に電界をかけることにより、光の入射方向と光照射により発生したキャリアの走行方向が略垂直方向になっている。これにより、電極間でキャリアの発生分布はほぼ均一となり、照射する光の波長に依らずキャリアの電極までの平均距離は略同じとなる。この結果、照射光の波長が違っても感度の温度依存性の違いを無くすことができる。
請求項(抜粋):
半導体基板と、上記半導体基板上に形成された信号電荷蓄積ダイオードと、上記信号電荷蓄積ダイオードと接続された信号電荷読み出し部と、上記信号電荷読み出し部を介して上記信号電荷蓄積ダイオードと電気的に接続された第1の画素電極と、上記第1の画素電極の上に積層され、光の入射によりキャリアを生成する光導電体膜と、上記第1の画素電極と同一平面上に形成された第2の画素電極を具備し、上記第2の電極は、同一チップ内で電気的に接続されており、上記第2の電極は、各画素ごとに第1の画素電極を取り囲んで配置されていることを特徴とする積層型固体撮像装置。
IPC (3件):
H04N 9/07
, H01L 27/146
, H04N 5/335
FI (3件):
H04N 9/07 A
, H04N 5/335 F
, H01L 27/14 E
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