特許
J-GLOBAL ID：200903023450301910
ディスク状の物体用の支持体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-013496
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007070
出願日： 1994年02月07日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、気体の流れがカム45用の調節機構によって損なわれないようにすること、及び破片が気体と共に運ばれ、ノズル12から、処理される物体の方に吹き掛けられないことである。【構成】支持シャフト(2)の、支持体(1)に設けられた端部からノズル(12)に連通する空間(50,53,54)は、支持体(1)に形成され、カム(45)を作動するための歯車リム(40)が収容されている空間(31,33)から分離された空間である。
請求項（抜粋）：
エッチングが施される最中のディスク状の物体、特に珪素製ディスク用の、ベルヌ-イの原理に基づく支持体(1)であって、該支持体(1)の、前記物体に向いた好ましくは環状の面、すなわち前記支持体(1)と前記ディスク状の物体との間にガスクッションを形成するために圧力ガスが送り込まれる面で前記支持体(1)の周囲領域に配置された少なくとも1つの好ましくは環状のノズル(12)と、前記支持体(1)の、前記物体に向いた面で前記支持体(1)の周囲領域に配置され、前記ディスク状の物体を横方向に支持し、かつ前記支持体(1)に回転自在に支承されたシャフト(44)で該シャフト(44)の回転軸に対し偏心に配置されているカム(45)によって形成されるストッパとを有し、前記シャフト(44)は前記支持体(1)の中心軸(11)を中心に捻回可能に前記支持体(1)に支承された歯車リム(40)と歯合するピニオン(43)を有し、前記歯車リム(40)は支持シャフト(2)と結合し、該支持シャフト(2)の一端には前記支持体(1)が具備されており、中空に形成された前記支持シャフト(2)の中を気体が前記ノズル(12)に流れ、前記支持シャフト(2)において前記支持体(1)を回転させるために、間隔をあけて、前記支持シャフト(2)の、前記支持体(1)に対向する端部の上方で、回転駆動装置(3)、好ましくは歯車・歯付ベルト歯車装置(5,6,7)が係合し、前記支持体(1)に関連してブレ-キが設置されてなる支持体において、前記支持シャフト(2)の、前記支持体(1)に設けられた端部から前記ノズル(12)に連通する空間(50,53,54)は、前記支持体(1)に形成され、前記カム(45)を作動するための前記歯車リム(40)が収容されている空間(31,33)から分離された空間であること、を特徴とする支持体。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/3065
