特許

J-GLOBAL ID：200903023455736418

ディスク状の物体用の支持体

発明者： フランツ・スムニチェ
出願人/特許権者： エスイーゼット セミコンダクター - イクイプメント ツベヘーア フュア ジ ハルブライターフェルティグング ゲゼルシャフト エム・ベー・ハー・
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-007281
公開番号（公開出願番号）：特開平6-316777
出願日： 1994年01月26日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】本発明は公知の支持体を、ディスク状の物体の縁部に接触する保持カムを必要とすることなく、ディスク状の物体を確実に保持することができる間に、物体を処理液で処理するように改善することである。【構成】支持体1,100は、該支持体1の、物体11に向いた好ましくは環状の面9,10、すなわち支持体1とディスク状の物体11との間にガスクッションを形成するために圧力ガスが送り込まれる面に形成された好ましくは環状のノズル8と、支持体1,100の、物体11に向いた面9,10に物体11用の載置部として形成され、かつ支持体1,100の、物体11に向いた面9,10内に設置された少なくとも1つの突出部85,90,108とを有する。

請求項（抜粋）：

エッチングが施される最中のディスク状の物体(11)、特に珪素製ディスク用の、ベルヌ-イの原理に基づく支持体(1,100)であって、該支持体(1)の、前記物体(11)に向いた好ましくは環状の面(9,10)、すなわち前記支持体(1)と前記ディスク状の物体(11)との間にガスクッションを形成するために圧力ガスが送り込まれる面に形成された好ましくは環状のノズル(8)と、前記支持体(1,100)の、前記物体(11)に向いた前記面(9,10)に前記物体(11)用の載置部として形成され、かつ前記支持体(1,100)の、前記物体(11)に向いた前記面(9,10)内に設置された少なくとも1つの突出部(85,90,108)と、を有する支持体において、該突出部(85,90,108)は、少なくとも領域的には前記支持体(1,100)の軸線(14)から半径方向に間隔をあけてしかも前記ノズル(8)の半径方向内側に設置されており、そこで前記物体(11)用の載置部を形成すること、を特徴とする支持体。