特許

J-GLOBAL ID：200903023462576094

水酸化物を経由した酸化物膜の合成法

発明者： 神戸 士郎 ,  森田 一英
出願人/特許権者： 神戸 士郎 ,  森田 一英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305768
公開番号（公開出願番号）：特開平6-256959
出願日： 1991年09月07日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：

【要約】【目的】 配向を制御した酸化物膜を、基板の種類と方位・焼結温度・気体雰囲気と無関係に作成し、素子形成に必要な成膜条件を緩和させる。【構成】 基板上に水酸化物膜を形成させ(a)、脱水反応によって酸化物膜を合成する(b)。

請求項（抜粋）：

配向した水酸化物の膜を基板上に形成し、脱水反応によって特定の方位に配向した酸化物膜を合成する方法。

IPC (6件)：

C23C 18/12 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12 ,  C23C 18/14 ,  C30B 29/22 501