特許
J-GLOBAL ID：200903023462830209
オージェ電子分光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193122
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043173
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【目的】 試料のドリフトや照射系の温度安定性などによる分析位置のズレ量を正確に検出し修正する。【構成】 オージェ電子分析を開始する際に2次電子像収集装置10で標準用の2次電子像を収集してフーリエ変換標準像記憶装置17に蓄積し、オージェ電子分析を開始した後に、該オージェ電子分析を中断して2次電子像収集装置10で比較用の2次電子像を収集してフーリエ変換比較像記憶装置18に蓄積し逆フーリエ変換装置20、ズレ量検出装置21で標準用の2次電子像との相互相関より分析位置のズレ量を検出し、分析位置の修正を行う。高精度で分析位置のズレ量の検出、修正を行うことができ、オージェ分析中に一定時間毎に繰り返しオージェ電子分析を短時間中断し、分析位置の修正を実行することができる。
請求項（抜粋）：
2次電子像収集装置と電子分光器を有し電子を試料に照射して2次電子像観察を行って分析位置を決定しオージェ電子分析を行うオージェ電子分光装置において、オージェ電子分析を開始する際に標準用の2次電子像を収集し、オージェ電子分析を開始した後に、該オージェ電子分析を中断して比較用の2次電子像を収集して標準用の2次電子像との相互相関より分析位置のズレ量を検出し、分析位置の修正を行うことを特徴とするオージェ電子分光装置。
IPC (3件)：
G01N 23/225
, H01J 37/22 502
, H01J 37/28
G01N 23/225
, H01J 37/22 502 H
, H01J 37/28 Z
