特許
J-GLOBAL ID：200903023473599789
基板ホルダーおよびそれを用いた画像表示パネルの製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363666
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168363
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 フェースプレートとリアプレートを浄化処理および封着処理がしやすい状態で同時に保持して搬送することができる基板ホルダー1を提供する。【解決手段】 フェースプレートを小基板2、リアプレートを大基板3とし、ホルダーベース4上に、前記小基板2を載置可能な小基板支持部5と、該小基板支持部5に載置された前記小基板2の外側に位置すると共に前記大基板3を当該小基板2上に位置させて載置可能でしかも弾性的に下方に押し下げ可能な大基板支持部6とを有し、小基板2と大基板3を間隔をあけて上下に重ねて保持できる基板ホルダー1とする。
請求項（抜粋）：
一対の基板が隙間をあけて向き合わされて該隙間の周縁部が封着された画像表示パネルの製造時に前記一対の基板を保持させる基板ホルダーにおいて、保持対象である前記一対の基板が、大きさの異なる小基板と大基板であって、ホルダーベース上に、前記小基板を載置可能な小基板支持部と、該小基板支持部に載置された前記小基板の外側に位置すると共に前記大基板を当該小基板上に位置させて載置可能な大基板支持部とが設けられていることを特徴とする基板ホルダー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/26 A
, H01J 9/39 A
