特許
J-GLOBAL ID：200903023484150783
マーキング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-075654
公開番号（公開出願番号）：特開2003-273172
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ上のICチップの電気的特性検査の合否マークにおいて、マーキングミスして、不良品を良品として取り扱う事がないようにする。【解決手段】 ウエハ上に作成されたICチップの電気的検査を行い、良品と判断されたICチップに動作上不具合をもたらさないあらかじめ決められた場所にマーキングをする方法。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に作成された複数のICチップの電気的特性を検査し、前記検査において良品と判断された前記ICチップのみに電気的動作上、影響のない予め決められた場所にマーキングをすることを特徴とするマーキング方法。
Fターム (3件)：
4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DA20
