特許
J-GLOBAL ID：200903023493175349
電子ビーム制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264446
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122223
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 電子ビーム照射位置・形状を長時間常時一定に自動制御できる電子ビーム制御装置を提供する。【構成】 電子ビーム照射面(ターゲット3)から放出されるX線25により電子ビーム形状を測定するX線カメラ20と、X線カメラにより測定した電子ビーム形状画像から電子ビーム照射位置の変化量を評価する画像処理装置21と、前記変化量を基に電子銃1からの電子ビーム放出条件(偏向コイル7への通電量)を制御する制御装置22とを備えた。
請求項（抜粋）：
ビーム走査式電子銃装置において、電子ビーム照射面から放出されるX線により電子ビーム形状を測定するX線カメラと、X線カメラにより測定した電子ビーム形状画像から電子ビーム照射位置の変化量を評価する画像処理装置と、前記変化量を基に電子銃からの電子ビーム放出条件を制御する制御装置とを備えたことを特徴とする電子ビーム制御装置。
IPC (2件)：
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