測光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-146220
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196752
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】光検出器の光電変換面から放出される光電子の個数の平均値を高精度に推定して入射光量を精度よく測定する。【解決手段】入射光束Aが光検出器10に入射すると光電子Bが放出され増倍されて電流信号が出力される。この電流信号は、積分器20で所定時間積分されて電圧信号となり、この電圧信号は、AD変換器50でデジタル値に変換され、このデジタル値は、ヒストメモリ60に入力して、電圧信号の波高分布が生成される。被測定光束が光検出器10に入射して生成された波高分布と、単一光電子事象波高分布生成手段71で獲得された単一光電子事象の波高分布と、k-光電子事象波高分布生成手段72で算出されたk-光電子事象の波高分布(k=1,2,3,...)とに基づいて、光電子数分布推定手段73において、被測定光束が光検出器10に入射して放出された光電子の個数分布が推定され、さらに被測定光束の光量が求められる。

請求項（抜粋）：

入射した光束の光量に応じた光電子数分布に従った個数の光電子を放出し、前記光電子を増倍して電流信号を出力する光検出器と、前記電流信号を所定時間積分して電圧信号に変換する積分手段と、前記電圧信号の波高分布を生成する波高分布生成手段と、前記光検出器で放出される光電子が1個の場合に前記波高分布生成手段で生成される波高分布を単一光電子事象波高分布として獲得する単一光電子事象波高分布生成手段と、前記光検出器で放出される光電子の個数kが2以上かつ所定数以下のそれぞれの場合におけるk-光電子事象波高分布を、前記単一光電子事象波高分布に基づいて漸化的にコンボリューション計算によって算出するk-光電子事象波高分布生成手段と、被測定光束が前記光検出器に入射して前記波高分布生成手段で生成された波高分布と前記単一光電子事象波高分布と前記光電子の個数kそれぞれの場合における前記k-光電子事象波高分布とに基づいて、前記被測定光束が前記光検出器に入射した場合の前記光電子数分布を推定することによって前記被測定光束の光量を求める光電子数分布推定手段と、を備えることを特徴とする測光装置。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , G01J 1/44 , G01N 21/64

FI (3件)：

G01J 1/02 D , G01J 1/44 F , G01N 21/64 D

引用特許：

審査官引用 (6件)

特公平5-006123
微弱発光測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-231558 出願人：浜松ホトニクス株式会社
光電子増倍管
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-026165 出願人：バールテクノロジースインコーポレイテツド

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