特許
J-GLOBAL ID：200903023500464718
合焦装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218898
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072378
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 ガラス等の透明基板のような物質を検査する場合に、被検物の裏面からの反射光束の影響を排除し、表面の位置を正確に検出して合焦を行う合焦装置を提供すること。【構成】 落射照明型の顕微鏡の合焦装置において、被検物からの反射光束を2つに分割する光分割手段を設け、分割後の反射光束をそれぞれ異なる受光部材で受光し、一方の反射光束については、光分割手段と受光部材の間に、被検物の裏面からの反射光束を遮断する遮光部材を設置し、前記2種類の受光方法による受光部材の出力に基づいて合焦を行う制御手段を設けた。
請求項（抜粋）：
光源光束を結像光学系の瞳の一方の側を通して被検物上に結像し、前記結像光学系の瞳の他方の側を通過した前記被検物からの反射光束に基づいて前記被検物と前記結像光学系とを相対移動して合焦を行う合焦装置において、前記被検物からの反射光束を第1の反射光束と第2の反射光束とに分割する光分割手段と、前記第1の反射光束を受光する第1の受光部材と、前記第2の反射光束を受光する第2の受光部材と、前記第2の反射光束に含まれる前記被検物の裏面からの反射光束を遮断するために、前記光分割手段と前記第2の受光部材との間に設けられた遮光部材と、前記第1の受光部材の出力と前記第2の受光部材の出力とに基づいて前記被検面と前記結像光学系とを相対移動させて合焦をおこなう制御手段とを備えたことを特徴とする合焦装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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