特許

J-GLOBAL ID：200903023502062021

多種溶液スポッティング装置

発明者： 村田 和広
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172149
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020239
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】本発明は、ノズル、吐出機構および溶液タンクを一体化するとともに該一体化した噴射装置を溶液の数だけ用意することにより、溶液タンクの交換およびノズルのクリーニング等を不要とした多種溶液スポッティング装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による多種溶液スポッティング装置は、噴射装置を、ノズル、溶液収容部および吐出機構より一体的に形成し、該噴射装置を搬送部材に複数着脱自在に装着してなることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

噴射装置を、ノズル、溶液収容部および吐出機構より一体的に形成し、該噴射装置を搬送部材に複数着脱自在に装着してなることを特徴とする多種溶液スポッティング装置。

IPC (3件)：

G01N33/53 ,  C12M1/00 ,  G01N37/00

FI (3件)：

G01N33/53 M ,  C12M1/00 ,  G01N37/00 102

Fターム (9件)：

4B029AA07 ,  4B029AA23 ,  4B029AA27 ,  4B029BB20 ,  4B029CC01 ,  4B029CC03 ,  4B029CC08 ,  4B029FA12 ,  4B029FA15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジェットヘッド、マイクロアレイ製造装置及びマイクロアレイ製造方法、マイクロアレイ検査装置、カラーフィルタ製造装置及びカラーフィルタ製造方法並びに電界発光基板製造装置及び電界発光基板製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-057474   出願人：セイコーエプソン株式会社
• スポッティングヘッド,スポッティング装置及びスポッティング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-229307   出願人：三菱化学株式会社