特許

J-GLOBAL ID：200903023505864439

放電型プラズマ装置

発明者： 岩元 達也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291795
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115886
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 石英ベルジャーの温度を一定に保持することにより、石英ベルジャーの温度変化に起因するエッチングレートの変動を防止し、また石英ベルジャーの温度を任意に設定することにより、エッチングレート、エッチングの均一性、エッチング形状等のエッチング特性を制御できる放電型プラズマエッチング装置を提供する。【解決手段】 石英ベルジャー3上又は内部の少なくとも一箇所に設けた石英ベルジャー3の温度を測定する温度センサ9(温度測定手段)と、設定された温度と温度測定手段により測定した測定温度とを比較し指令する制御回路10(温度比較手段)と、温度比較手段による比較結果に基づき石英ベルジャー3を冷却,加熱またはその状態に保持する冷却ファン5、ヒータ8(冷却加熱手段)とを具備した。

請求項（抜粋）：

ウェーハを載置する下部ステージと、載置されたウェーハを覆う石英ベルジャーと、該石英ベルジャーを覆うカバーと、を備えて上記石英ベルジャー内に設けたウェーハを処理する放電型プラズマ装置において、前記石英ベルジャー上又は内部の少なくとも一箇所に設けた該石英ベルジャーの温度を測定する温度測定手段と、設定された温度と温度測定手段により測定した測定温度とを比較する温度比較手段と、温度比較手段による比較結果に基づき石英ベルジャーを冷却,加熱またはその状態に保持する冷却加熱手段とを具備したことを特徴とする放電型プラズマエッチング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/205