特許

J-GLOBAL ID：200903023509465806

真空蒸着用原料

発明者： 光井 彰 ,  佐藤 一夫
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-062863
公開番号（公開出願番号）：特開平6-248427
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：

【要約】【構成】Gaを含むZnO焼結体において、Gaの固溶により高角側にシフトしたGa固溶ZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I1 と、Gaが固溶していない低角側のZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I2 の比が0.2以上(I1 /I2 ≧0.2)である真空蒸着用原料。【効果】膜組成や蒸着原料の蒸着時の経時変化が少なく、空気中でも高い耐熱性を有する低抵抗の透明導電膜が得られる。

請求項（抜粋）：

ガリウムを含む酸化亜鉛焼結体からなる真空蒸着用原料であって、該酸化亜鉛焼結体は、ガリウムの固溶により高角側にシフトしたGa固溶ZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I1 と、ガリウムが固溶していない低角側のZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I2 の比が0.2以上(I1 /I2 ≧0.2)であることを特徴とする真空蒸着用原料。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-099554