特許
J-GLOBAL ID:200903023515513308

クリーントンネルのメンテナンス機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-132770
公開番号(公開出願番号):特開平5-322249
出願日: 1992年05月25日
公開日(公表日): 1993年12月07日
要約:
【要約】【目的】 クリーントンネル内のクリーン空間を破壊することなく、クリーントンネル内のメンテナンス作業ができるクリーントンネルのメンテナンス機構を提供することを目的としている。【構成】 給排気装置5と空気清浄化装置3とによって構成されるクリーン空間と、このクリーン空間内に配された製造ライン又は/及び搬送ライン6とを有するクリーントンネルにおいて、クリーントンネルの外壁上に所定間隔をおいて設けた気密メンテナンスポート9と、この気密メンテナンスポート9に気密に取り付けて前記各種ライン6のメンテナンス時に使用するメンテナンスグローブとを備えたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
給排気装置と空気清浄化装置とによって構成されるクリーン空間と、このクリーン空間内に配された製造ライン又は/及び搬送ラインとを有するクリーントンネルにおいて、クリーントンネルの外壁上に所定間隔をおいて設けた気密メンテナンスポートと、この気密メンテナンスポートに気密に取り付けて前記各種ラインのメンテナンス時に使用するメンテナンスグローブとを備えたことを特徴とするクリーントンネルのメンテナンス機構。
IPC (2件):
F24F 7/06 ,  H01L 21/02
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-023616
  • 特開昭59-213438

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