特許

J-GLOBAL ID：200903023519692290

露光装置

発明者： 平地 和幸 ,  佐伯 和明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223870
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077110
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 ステージの移動中にリテーナがストッパーに衝突してステージの位置決め精度が悪化するのを防ぐ。【構成】 ステージSTのステップ移動範囲を記憶した記憶部11と、ステージSTをその移動端方向に移動してステップ移動範囲の近傍に達した際にステージの移動速度を減速し、さらにステージの移動範囲を超えてステージを移動する制御部10とを設ける。ステージSTを移動端を超えて低速で移動することによって、ずれ出たリテーナ4をストッパー5に対して徐々に当接させる。

請求項（抜粋）：

基盤上の案内面に転動部材を介してステージを往復移動可能に載置し、前記案内面の端部に前記転動部材の移動を制限する制限部材を設けたステージ装置を備え、被露光物を前記ステージ上に載置して前記被露光物に対して露光を行う露光装置において、前記ステージの前記往復移動の範囲を記憶する記憶手段と;前記ステージを前記範囲の端部の方向に所定の速度で移動し、前記ステージが前記記憶手段に記憶された範囲の端部近傍の位置に達した際に前記所定の速度を減速し、さらに前記ステージを前記範囲を超えて移動して前記転動部材を前記制限部材に徐々に当接させる制御手段を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 301 Z