力学量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：碓氷裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284040
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081338
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【目的】新規な構造の力学量センサを提供すること。【構成】基板1の凹部2の側壁から第1の梁3,4,5,6が延設され、その第1の梁3,4,5,6には連結点7a,7b,7c,7dにて中間支持体7が連結支持されている。この中間支持体7は、連結点7a,7b,7c,7dによって囲まれ、その内側に配置された第1質量7eと第1質量7eから片持ち固定され連結点7a,7b,7c,7dの外側に配置された第2質量7fとを備えている。また、中間支持体7から第1の梁3,4,5,6にほぼ直交する方向に延びる第2の梁8,9,10,11が延設され、第2の梁8,9,10,11には錘12が設けられている。そして、対向電極17,19及び対向電極18,20を励振用電極とするとともに対向電極13,15及び対向電極14,16を角速度検出用電極とし、角速度の印加に伴う錘12の動きが検出される。

請求項（抜粋）：

半導体層から成る固定部と、前記固定部に形成された第1電極と、前記固定部から延びる複数の梁によって前記固定部に連結支持され、前記固定部の表面に水平な方向に可動する第1可動プレートと、前記第1可動プレート内の前記第1電極と対向する位置に形成された第2電極とを備え、前記第1可動プレートは、前記固定部から延びる複数の梁を連結する複数の連結点と、前記複数の連結点によって囲まれ、その内側に配置された第1質量と、前記第1質量から片持ち固定され、前記複数の連結点の外側に配置された第2質量とを備え、前記第1電極と第2電極との間の容量変化を検出することにより、前記第1可動プレートに作用する力学量を検出することを特徴とする半導体力学量センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/125 , H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (13件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143148 出願人：株式会社村田製作所
特開平4-169856
特開平4-169856

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