カーボンナノチューブを用いたデバイス及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山下穣平 , 志村博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-291527
公開番号（公開出願番号）：特開2005-059135
出願日： 2003年08月11日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】指向性が高く、1〜20nm程度の直径を有するカーボンナノチューブを1×1011個/cm2以上の密度で形成したカーボンナノチューブを用いたデバイスを提供する。【解決手段】カーボンナノチューブを用いたデバイスを構成しているカーボンナノチューブが、円柱状の細孔を有する多孔体内に形成され、多孔体により、お互いに分離されており、細孔内では基板に対して実質的に垂直に形成されている。カーボンナノチューブの直径は、1ナノメートル以上20ナノメートル未満であり、その形成密度は、1.5×1011個/cm2以上である。多孔体14は、アルミニウムを主成分とする柱状物質が、共晶を形成し得るゲルマニウム、シリコン、あるいはゲルマニウムとシリコンの複合物からなる部材中に分散している構造体から、柱状物質を除去して形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

柱状の空孔を有する多孔体の該空孔内に保持されたカーボンナノチューブを有するデバイスであって、前記多孔体は、第一の成分を含み構成される柱状物質が、前記第一の成分と共晶を形成し得る第二の成分を含み構成される部材中に分散している構造体から、該柱状物質を除去して形成されていることを特徴とするカーボンナノチューブを用いたデバイス。

IPC (10件)：

B82B1/00 , B82B3/00 , C01B31/02 , C23C14/14 , C23C16/26 , G01J1/02 , H01J1/304 , H01J9/02 , H01L29/06 , H01L29/66

FI (10件)：

B82B1/00 , B82B3/00 , C01B31/02 101F , C23C14/14 B , C23C16/26 , G01J1/02 C , H01J9/02 B , H01L29/06 601N , H01L29/66 E , H01J1/30 F

Fターム (37件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA02 , 2G065BA14 , 4G146AA11 , 4G146AB08 , 4G146AC03B , 4G146AD29 , 4G146AD30 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC09 , 4G146BC25 , 4G146BC33B , 4G146BC42 , 4G146BC44 , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA21 , 4K029BA23 , 4K029CA05 , 4K030AA09 , 4K030AA17 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030LA00 , 5C127AA08 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD07 , 5C127DD52 , 5C135AA15 , 5C135AB07

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