特許
J-GLOBAL ID:200903023523021538

光応用センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 則近 憲佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-147243
公開番号(公開出願番号):特開平8-015035
出願日: 1994年06月29日
公開日(公表日): 1996年01月19日
要約:
【要約】【構成】 主光源1aから出射される光を、偏光子4a、1/4波長板5a、光学素子6に入射し、この光と構成光源1bからの光を無偏光ビ-ムスプリッタ18で結合し、結合した光のY軸成分を検光子7に入射して、偏波面が直光する2つの直線偏光に分割して測定系に伝送する光応用センサ。【効果】 検光子の温度特性に左右されず、光量アンバランスの補正をすることができる。
請求項(抜粋):
連続光を発する第1の光源と、この第1の光源から出射される光が入射する偏光子と、この偏光子を透過した光が入射する1/4波長板と、この1/4波長板を透過した光が入射する光学素子と、この光学素子を透過した光と点滅を繰り返す第2の光源から出射される光とを結合する無偏光ビ-ムスプリッタと、この無偏光ビ-ムスプリッタで結合された光のX軸成分あるいはY軸成分を偏波面が直交する2つの直線偏光に分割する検光子と、この検光子で分割された2つの前記直線偏光の光量アンバランスを検出してアンバランス補正を行う測定系とを備えたことを特徴とする光応用センサ。
IPC (2件):
G01J 4/00 ,  G01N 21/23

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