特許

J-GLOBAL ID：200903023523207941

ネガ型感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  小久保 忠嘉
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344085
公開番号（公開出願番号）：特開平5-158239
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】高感度でかつ高解像力であるネガ型感光性組成物を提供する。更に、露光後の処理工程条件による性能の変動が小さいフオトレジスト組成物を提供する。【構成】 ネガ型感光性組成物が、(a)水に不溶でアルカリ水に可溶な樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸の作用により架橋し得る基を少なくとも1個有する化合物、及び(d)50°C以上で塩基を発生する化合物、を含有する。

請求項（抜粋）：

(a)水に不溶でアルカリ水に可溶な樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸の作用により架橋し得る基を少なくとも1個有する化合物、及び(d)50°C以上で塩基を発生する化合物、を含有することを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027