特許
J-GLOBAL ID：200903023524184759
微小部光物性測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165558
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010139
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】光を効率よく集光することにより積算時間を短縮し位置分解能を上げ、原子レベルで物質同定できる装置を提供する。【解決手段】光を検出する光検出器を有し、走査型プローブ顕微鏡の探針より電子を物質に注入し、その探針先端直下の物質より放出される光を検出することにより、原子レベルの位置分解能で表面の物質同定や電子状態の解明ができることを特徴とする微小部光物性測定装置。
請求項（抜粋）：
光を検出する光検出器を有し、走査型プローブ顕微鏡の探針より電子を物質に注入し、その探針先端直下の物質より放出される光を検出することにより、原子レベルの位置分解能で表面の物質同定や電子状態の解明ができることを特徴とする微小部光物性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
