特許

J-GLOBAL ID：200903023525534575

窒化ガリウム系発光素子

発明者： 森本 泰司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 晴康 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-192212
公開番号（公開出願番号）：特開2002-016311
出願日： 2000年06月27日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 n型窒化ガリウム基板の裏面に形成するn型電極による応力が窒化ガリウム基板内部に存在する歪みを助長し、さらには素子内部に歪みが伝搬する。【解決手段】 n型窒化ガリウム基板10の裏に形成する電極16を多層構造にし、部分的に形成することで金属電極による歪みを低減する。電極厚を一定厚以下とすることで素子にかかる歪の低減を得た。また、窒化ガリウム基板の製法に係る特有の問題として基板厚を一定厚以上、ここでは40μm以上とすることで素子内部への歪の伝播低減を得た。

請求項（抜粋）：

n型窒化ガリウム基板の一主面に電流注入用のオーミック電極を有し、上記一主面の面積に対する上記電極の面積の割合が5%以上、60%以下であることを特徴とする発光素子。

IPC (3件)：

H01S 5/042 610 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/323

FI (4件)：

H01S 5/042 610 ,  H01L 33/00 E ,  H01L 33/00 C ,  H01S 5/323

Fターム (26件)：

5F041AA04 ,  5F041AA05 ,  5F041AA43 ,  5F041CA04 ,  5F041CA05 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA65 ,  5F041CA85 ,  5F041CA86 ,  5F041CA87 ,  5F041CA92 ,  5F041CA93 ,  5F041CA98 ,  5F073AA74 ,  5F073CA07 ,  5F073CA17 ,  5F073CB02 ,  5F073CB22 ,  5F073DA05 ,  5F073DA16 ,  5F073DA23 ,  5F073DA30 ,  5F073DA35 ,  5F073EA28 ,  5F073FA22