質量流量センサおよびその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022709
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249693
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】媒体が流過する膜(3)上の測定素子(1)と共に、別の膜(4)上に媒体温度測定素子(2)が設けられている質量流量センサを提供する。【構成】媒体温度測定素子(2)が膜(4)上に配置されており、これにより質量流量センサは流れる媒体の温度の変化に対しとくに迅速に反応する。

請求項（抜粋）：

媒体が流過する膜(3)上に、媒体に比して高い温度を有しかつ媒体中への熱伝達から媒体の流れの強さを測定する測定素子(1)、および媒体の温度を測定する媒体温度測定素子を有し、その際媒体の温度に依存して媒体の流れの測定値が修正されるかまたは測定素子(1)の温度が変化する質量流量計において、媒体温度測定素子(2)が第2の膜(4)上に配置されていることを特徴とする質量流量センサ。

IPC (3件)：

G01F 1/68 , G01P 5/12 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-043522
特開昭56-007018
特開平1-301121

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