特許
J-GLOBAL ID：200903023527194321
ウエハの搬送台車
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 芳春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-323148
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162262
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】ウエハ加工工場のクリーンルーム等の床面を自由に走行可能にして小回がきくようにする。【解決手段】パイプ材で形成されたシャシ1と、シャシ1の下部に取付けられた走行輪6と、シャシ1の上部に下面を開放して区画形成されウエハWを並列収納したカセットCを収容するクリーンチャンバ12と、クリーンチャンバ12の上部に設けられクリーンチャンバ12にクリーンエアシャワをダウンフロウするシャワ機構17と、クリーンチャンバ12の側部に設けられカセットCを出入れ可能な扉13と、シャシ1に支持されてクリーンチャンバ12の内部に設置されカセットCが載せられる荷台15と、シャシ1と荷台15との間に介装された振動減衰部材16と、シャシ1の下部に搭載されシャワ機構17の駆動源となるバッテリ7とを備えてなる。
請求項（抜粋）：
パイプ材で形成されたシャシと、シャシの下部に取付けられた走行輪と、シャシの上部に下面を開放して区画形成されウエハを並列収納したカセットを収容するクリーンチャンバと、クリーンチャンバの上部に設けられクリーンチャンバにクリーンエアシャワをダウンフロウするシャワ機構と、クリーンチャンバの側部に設けられカセットを出入れ可能な扉と、シャシに支持されてクリーンチャンバの内部に設置されカセットが載せられる荷台と、シャシと荷台との間に介装された振動減衰部材と、シャシの下部に搭載されシャワ機構の駆動源となるバッテリとを備えてなるウエハの搬送台車。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B62B 3/00
, B62B 3/10
H01L 21/68 A
, B62B 3/10 Z
, B62B 3/00 B
