特許

J-GLOBAL ID：200903023530319615

多層強誘電体薄膜

発明者： 梨本 恵一
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 渡部 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-288152
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119812
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 表面が光学的に平滑かつ透明であり、光導波路を用いた電気光学素子等に利用可能な多層強誘電体薄膜およびその作製方法を提供する。【構成】 多層強誘電体薄膜は、基板上に形成された、高密度で屈折率が単結晶並みであるが光学的に平滑ではない表面を持ち、多結晶強誘電体よりなる第1層と、その上に形成された比較的低密度で単結晶よりも低屈折率であるが光学的に平滑な表面を持ち、多結晶強誘電体よりなる第二層とよりなる。この多層誘電体薄膜は、有機金属化合物の溶液を基板上に塗布し、熱処理を施す工程を複数回行い、その際、第1層の焼成を400°C〜1000°Cの温度範囲で行い、第2層の焼成を第1層の焼成温度より低い温度で、かつ200°C〜600°Cの温度範囲で行うことによって作製される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された、高密度で屈折率が単結晶並みであるが光学的に平滑ではない表面を持つ第1層目の多結晶強誘電体膜と、該第1層目の多結晶強誘電体膜の上に形成された、比較的低密度で単結晶よりも低屈折率であるが光学的に平滑な表面を持つ第2層目の多結晶強誘電体膜よりなることを特徴とする多層強誘電体薄膜。

IPC (3件)：

H01B 3/00 ,  C23C 16/40 ,  H01L 41/24

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-069512
  
• 特開昭64-005999
  
• 特開昭63-270397
  
• 特開平4-133369