特許

J-GLOBAL ID：200903023532649124

回析限界に近づくための現存の像形成装置の補正板補正

発明者： マックアーサー ブルース ビー ,  ハンター ロバート オー ジュニア ,  スミス アドレイ エイチ
出願人/特許権者： ライテル インストゥルメンツ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-508690
公開番号（公開出願番号）：特表2001-509904
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】解析限定理想像(I)の位置が容易に確認できるイメージ面へ、修正されるために、レンズシステム(L)を通して物体が投影される。少なくとも一次像の欠陥またはザイデル収差が測定される。これらの収差にはひずみ、フィールドの曲がりまたはペツバル湾曲、球収差、コマ、非点収差が含まれる。インタフェロメトリはシステムの収差を測定するために使用される。測定値に基づいて物体の位置が計算される。

請求項（抜粋）：

イメージングシステムのイメージ特性を変更しかつ改良する方法において、 ラジエーション源を準備する段階と、 前記ラジエーションにより物体を照らす段階と、 前記物体の像を前記イメージングシステムを通り理想的イメージ面に至る投影軸線に沿って投影する投影段階であって、前記理想的イメージ面が物体の実像に対し回折限定理想像の位置を容易に確認し得るようになっている前記投影段階と、 前記イメージングシステムを通過する分布した分野点のマトリックスに対するイメージングシステム性能を決定するため前記回折限定理想像に対する前記イメージングシステムの分野、ひずみおよび非点収差の少なくともひずみを測定する段階と、 一組の理想のイメージ点および測定したイメージングシステムから一組の明瞭な物体点を計算して、それぞれの明瞭な物体点が前記イメージングシステムを通る分布した分野点のマトリックスに対する理想イメージ点に対応するようにする段階と、 少なくとも2個の離れたコレクタプレートをイメージングシステムの投影軸線にほぼ垂直に準備して、第一コレクタプレートと第二コレクタプレートとを前記物体内に挿入して光学通路をイメージする段階と、 一組の物体点から出る一組の光線が一組の明瞭な物体点から出る一組の仮想光線と第二コレクタプレートにおいて交差するように分野点のマトリックスに対し局部的なビームひずみの領域を作り出すように前記第一コレクタプレートを設計する段階と、 実像と回折限定理想像とが一致するようにするため物体から出る組の光線の方向が変化するように前記分野点のマトリックスに対し少なくとも第二コレクタプレートを設計する段階と、 第一コレクタプレートと第二コレクタプレートとをコレクタプレート取り付け面に挿入する段階と、を包含することを特徴とするイメージングシステムのイメージ特性を変更しかつ改良する方法。

IPC (2件)：

G02B 27/58 ,  G02B 27/42

FI (2件)：

G02B 27/58 ,  G02B 27/42

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-035619
  
• 特開昭59-144127