特許

J-GLOBAL ID：200903023535812042

液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系

発明者： 森口 泰之 ,  愛甲 健二
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-242448
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061118
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 液晶セルのTFT基板と、これに接続するドライバチップ(COG)の両者の位置合せマークを、鮮明に撮像する。【解決手段】 COG4の位置合せ用マークMC1,MC2に対して、斜め方向にリング光束を照射するリング投光部61と、両マークMC1,MC2に接近した状態の、TFT基板11のマークMT1,MT2に対して平行光束を垂直に照射する垂直投光部62、リング投光部61と垂直投光部62とを交互に切り換える光シャッタ612,622 、および各マーク(MC1,MC2)と(MT1,MT2)とに対する共通のTVカメラ63とにより構成される。【効果】 位置合せが正確になされる。

請求項（抜粋）：

液晶セルの構成要素のTFT基板の1辺に形成された複数組の入力リード線群の、それぞれの両側に設けた位置合せ用マークMT1,MT2と、1組の該入力リード線群に接続される出力リード線群を有するドライバチップの位置合せ用マークMC1,MC2との位置合せにおいて、前記ドライバチップのマークMC1,MC2に対して、斜め方向にリング光束を照射するリング投光部と、該両マークMC1,MC2に接近した状態の前記TFT基板の1組の入力リード線群のマークMT1,MT2に対して、平行光束を垂直に照射する垂直投光部、該リング投光部と垂直投光部とを交互に切り換える切り換え手段、および該光束がそれぞれ照射されたマークMC1,MC2と、マークMT1,MT2とに対する共通のTVカメラとにより構成されたことを特徴とする、液晶セル用ドライバチップの位置合せ光学系。

IPC (6件)：

G01B 11/00 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 341 ,  H01L 21/68 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (5件)：

G01B 11/00 H ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 341 ,  H01L 21/68 F ,  H01L 29/78 627 Z