特許
J-GLOBAL ID:200903023542266240
ICハンドラ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-164568
公開番号(公開出願番号):特開平6-005676
出願日: 1992年06月23日
公開日(公表日): 1994年01月14日
要約:
【要約】【構成】トレイガイド1,トレイガイド3の上部にトレイをクランプするクランプ爪7を取り付けエアシリンダとスプリング10で動作させ、トレイの位置ずれ防止及び反ったソフトトレイの対応可能な機構を設けたICハンドラ。【効果】ICのトレイ供給形態のハンドラにおいて、トレイ供給部のトレイの位置ずれ防止ができ、ハンドラの性能向上が図れる。また、反るソフトトレイへの対応が可能なためトレイの種類に限定されずに対応でき、幅広いICの品種対応が図れる。
請求項(抜粋):
ICのトレイ供給形態のハンドラにおいて、前記ICの前記トレイをクランプする機構を前記トレイの供給部に具備したことを特徴とするICハンドラ。
IPC (3件):
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/68
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