特許
J-GLOBAL ID：200903023549844419
音響共振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-390518
公開番号（公開出願番号）：特開2005-159402
出願日： 2003年11月20日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】スプリアス共振のない音響共振器を提供することを主要な目的とする。【解決手段】音響共振器は、表面に開口部12を有する基板11を備える。基板11の上に、開口部12を跨ぐように、下部電極13、圧電体14、上部電極15が積層されてなる圧電振動部16が設けられている。圧電振動部16は、主共振を生じさせる第1の厚みを有する第1の領域17と、該第1の領域17を取り囲み、上記第1の厚みと異なる第2の厚みを有する第2の領域18に区分されている。積層方向への投影において、第1の領域17の周縁17aは開口部12の周縁12aから内方に設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に開口部を有する基板と、
前記基板の上に、前記開口部を跨ぐように設けられ、下部電極、圧電体、上部電極が積層されてなる圧電振動部と、を備えた音響共振器において、
前記圧電振動部は、主共振を生じさせる第1の厚みを有する第1の領域と、該第1の領域を取り囲み、前記第1の厚みと異なる第2の厚みを有する第2の領域に区分されており、
積層方向への投影において、前記第1の領域の周縁は前記開口部の周縁から内方に設けられている音響共振器。
IPC (3件)：
H03H9/17
, H01L41/09
, H01L41/187
H03H9/17 F
, H03H9/17 B
, H01L41/08 J
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101B
5J108AA01
, 5J108BB07
, 5J108CC04
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108CC12
