特許
J-GLOBAL ID：200903023566314717
エツチング廃液の処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-296509
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106066
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】[目的] プリント配線板のエッチング工程で生じるエッチング廃液の迅速で、有用な処理を行う。[構成] エッチング工程からのエッチング廃液2を処理槽1に充填し、加熱コイル3に高温高圧の蒸気を供給して、エッチング廃液2を加熱する。加熱によりエッチング廃液2が蒸発して濃縮するため、全体量が減少し、その後の処理、運搬が容易となる。蒸発したエッチング廃液の蒸気を冷却コイル8で冷却、凝縮して回収槽10に回収する。回収液中に塩酸等の有用成分を含んでいるため、回収液をエッチング工程に再使用する。
請求項（抜粋）：
エッチング廃液を加熱し蒸発させて濃縮すると共に、前記加熱により発生した蒸気を凝縮してエッチング廃液とは別個に回収し、再利用することを特徴とするエッチング廃液の処理方法。
IPC (4件)：
C23F 1/46
, B01D 1/02
, C02F 1/04
, H05K 3/06
