特許

J-GLOBAL ID：200903023566399003

プラズマ浸炭処理方法

発明者： 田中 弘一 ,  田中 信一 ,  辻 宣佳
出願人/特許権者： 株式会社田中 ,  株式会社エスディーシー
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339864
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152316
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 浸炭処理前の母材の強度を維持したままで、優れた耐摩耗性、低摩擦係数および改善された耐腐食性が得られるようにすることである。【解決手段】 フッ化窒素ガスなどのフッ素系ガスを含有する雰囲気中でチタン金属またはオーステナイト系耐熱鋼などの耐熱鋼を350°C以上700°C未満に加熱して表面をフッ化処理した後、前記チタン金属または耐熱鋼を炭化水素ガスを含有する10〜2000Pa、350°C以上700°C未満の雰囲気内においてプラズマ浸炭処理することからなるプラズマ浸炭処理方法とする。活性化処理(フッ化処理)を経た金属の表面に所定圧力および所定の比較的低い温度条件でプラズマ浸炭がなされ、母材の強度を維持した状態でチタン金属または耐熱鋼の表層部に炭化金属層からなる浸炭層が形成される。

請求項（抜粋）：

フッ素系ガスを含有する雰囲気中でチタン金属または耐熱鋼を350°C以上700°C未満に加熱して表面をフッ化処理した後、前記チタン金属または耐熱鋼を炭化水素ガスを含有する10〜2000Pa、350°C以上700°C未満の雰囲気内においてプラズマ浸炭処理することからなるプラズマ浸炭処理方法。

Fターム (4件)：

4K028BA03 ,  4K028BA12 ,  4K028BA14 ,  4K028BA22