特許
J-GLOBAL ID：200903023566924507
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-115475
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027674
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】作業が簡単で精度の高い露光装置を提供する。【構成】ガラス板1に透明フィルム2がその周囲を気密に固定され、この間に空気が導入されて、透明フィルム2が膨らむ。フィルムマスク3は透明フィルム2の上に吸着フレーム6により装脱着可能に設けられている。
請求項（抜粋）：
露光波長を透過する支持基板と、該支持基板に装着され、露光波長を透過する柔軟材と、該柔軟材に装着されたフィルムマスクと、前記柔軟材と支持基板の間に流体を導入して、該フィルムマスクを被露光対象に対して押圧する押圧装置と、を備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20
, G03B 27/20
, H05K 3/00
