特許

J-GLOBAL ID：200903023567644044

ウエハの加工方法及び平面研削盤

発明者： 西 健一朗 ,  温井 満 ,  中嶋 和男 ,  村井 史朗
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158724
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000854
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの少なくとも片面を研削加工する際ウエハを安定して自転させるウエハの加工方法及び平面研削盤。【解決手段】 ウエハ外周側面に回転ローラを押し当て、回転ローラを駆動させることによりウエハを回転させる。この場合ウエハが回転ローラの駆動力の外乱によって振動または姿勢変化を生じない様に流体静圧によりウエハを上下から非接触に保持する。

請求項（抜粋）：

インゴットから切断後のウエハを加工する方法において、該ウエハの少なくとも片面に砥石端面を作用させて研削する際に、前記ウエハの外周側面に回転ローラを押し当てて該回転ローラの回転により該ウエハを回転させながら研削を行なうことを特徴とするウエハの加工方法。