ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145654
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323319
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】溝付ローラの溝を傷付けることなく溝付ローラの溝形状を測定する。【解決手段】溝付ローラ14の溝15をカメラ20で撮像する。カメラ20からの溝15を示す画像信号は画像処理装置に出力され、ここで白黒二値化処理される。CPU34は、溝15の輪郭を構成する各輪郭点のX-Y座標上の位置データを求める。そして、CPU34は、この位置データに基づいて溝15のピッチP、径のバラツキα、溝15の両側傾斜面の傾斜角度β、γを算出し、これらの算出結果を溝15の形状と共にディスプレイ45に表示する。

請求項（抜粋）：

一方のワイヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、前記溝付ローラの溝を撮像手段によって撮像し、該撮像手段からの映像信号を画像処理し、該画像処理して得られた溝付ローラの溝の輪郭データに基づいて溝付ローラの溝形状を測定することを特徴とするワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法。

IPC (4件)：

B28D 7/00 , B24B 27/06 , B28D 5/04 , G01B 11/24

FI (4件)：

B28D 7/00 , B24B 27/06 G , B28D 5/04 C , G01B 11/24 A

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