特許

J-GLOBAL ID：200903023577956621

ダイヤモンド被覆部材の製造方法

発明者： 増田 敦彦 ,  齋藤 義昭
出願人/特許権者： 出光石油化学株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-155050
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005180
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】 基材とダイヤモンド被膜との密着性の大きなダイイヤモンド被覆部材を提供すること。【構成】 窒化ケイ素系セラミックス製の基材を、あらかじめ5〜3,000気圧の加圧希ガス雰囲気中で、1,300〜2,000°Cの温度で熱処理し、次いで熱処理した基材表面にダイヤモンド類薄膜を形成することを主たる特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化ケイ素系セラミックス製の基材を、希ガス雰囲気中で、5〜3,000気圧の加圧下に、1,300〜2,000°Cに加熱処理し、次いでこの熱処理した基材の表面にダイヤモンド類薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド被覆部材の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 16/26 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28 ,  C23C 14/06 ,  C30B 29/04