特許
J-GLOBAL ID:200903023577998901
画像露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-138600
公開番号(公開出願番号):特開2003-329956
出願日: 2002年05月14日
公開日(公表日): 2003年11月19日
要約:
【要約】【課題】 光ビームを強度変調するときに安定かつ効率的に変調することができる画像露光装置を得る。【解決手段】 光強度変調装置16に入射された直線偏光の光ビームLpは、偏光ビームスプリッタ30を透過してAOM36で所定の回折角度をもって回折され、1/4波長版38で円偏光の光ビームLcに変換された後に反射板40で反射され、再度1/4波長版38を透過する。このとき、AOM36へ向かう光ビームは、光ビームLpと偏光方向がほぼ直交する光ビームLsとなる。この光ビームLsは、AOM36で再度回折されて入射光路を逆方向に伝播されて、偏光ビームスプリッタ30で反射されて、光強度変調装置16から射出される。従って、AOM36で回折された光ビームのみを効率的に抽出でき、レーザ露光装置10では鮮明な画像を得ることができる。
請求項(抜粋):
光ビームを少なくとも一方向へ走査しながら該光ビームの光量を変調して画像を露光媒体に露光する画像露光装置において、所定の偏光状態の光ビームを出力する光源手段と、入力信号により前記光源手段から出力された光ビームを回折する音響光学素子と、前記回折された光ビームを、該回折方向と逆方向に反射する反射手段と、前記音響光学素子と前記反射手段との光路上に挿入されかつ、入射光の偏光状態を変更する波長板と、前記反射手段で反射された光ビームを分離する分離手段と、を備えたことを特徴とする画像露光装置。
IPC (6件):
G02B 26/10
, B41J 2/44
, G02B 27/28
, H04N 1/036
, H04N 1/113
, G02F 1/11
FI (6件):
G02B 26/10 Z
, G02B 27/28 Z
, H04N 1/036 Z
, G02F 1/11
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
Fターム (33件):
2C362AA03
, 2C362BA82
, 2H045CB31
, 2H045CB63
, 2H045DA02
, 2H079AA04
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA21
, 2H079EB21
, 2H099AA00
, 2H099BA17
, 2H099CA07
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB22
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC04
, 5C051DC07
, 5C051DE30
, 5C072AA03
, 5C072DA02
, 5C072DA04
, 5C072DA19
, 5C072DA20
, 5C072DA21
, 5C072HA02
, 5C072HA13
, 5C072HA16
, 5C072HB06
, 5C072XA05
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