透明構造を持つ真空チャンバー壁を有する照明システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：津軽進 , 宮崎昭彦 , 青木宏義
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-554787
公開番号（公開出願番号）：特表2004-517485
出願日： 2001年12月24日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

リソグラフィー投影装置は真空チャンバー(10)に収容された放電プラズマ放射線源(LA)を有する。放射線源はEUV放射線のビーム(PB)を発生させる。真空チャンバーのチャンバー壁は、放射線ビームの伝播方向にほぼ平行になった隣接した狭いチャンネル(11)を有するチャンネル構造が組み込まれると共に、ビームの離接に従ってビーム軸に沿って減少又は増加する幅を持つ。この構造は、ずっとより高い真空レベル(より低圧)に保持された他の隣の真空チャンバー(20)へビームを通過させる。

請求項（抜粋）：

照明システムであって、放射線のビームを発生させるように構築された放射線源と、チャンネル構造が組み込まれたチャンバー壁により分離された2つの真空チャンバーであって、前記チャンネル構造は前記真空チャンバーの一方から他方へ前記放射線を通過させるよう前記放射線の伝播方向にほぼ平行になった壁により分離された隣接した狭いチャンネルを有し、前記伝播方向は前記の装置の光学軸にほぼ沿う、当該2つの真空チャンバーと、を有する照明システムにおいて、前記チャンネルの幅が発散又は収束する放射線のビームの通過にそれぞれ従って、前記光学軸に沿って増加又は減少することを特徴とする照明システム。

IPC (2件)：

H01L21/027 , G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 531A , G03F7/20 501

Fターム (6件)：

2H097CA01 , 2H097CA03 , 2H097CA06 , 2H097CA12 , 5F046GA07 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭62-040145
特許第2623128号
特開昭62-040145

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