特許
J-GLOBAL ID：200903023579752071
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142748
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329700
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【目的】 Oリングの表面を、簡単な構造で効率よく検査することの可能な表面検査装置を提供する。【構成】 Oリング7を回転テーブル5aにセットして高速回転させ、一方検査光学先端部2をOリング7の輪部7aの円形断面中心を軸として外周側から内周方向へ低速で移動させる。その間、検査光学先端部2から出射する検査光をOリング7の表面に照射し、その反射光に基づき、Oリング7の表面の傷、異物の有無を検査する。Oリング7を回転させている間に検査光学先端部2を、Oリング7の回転方向に対して直行する方向へ回動させるだけで、Oリング7の表面を検査するようにしため、作業性がよい。
請求項（抜粋）：
被検査物からの反射光量を検出し、この反射光量の変化に基づき上記被検査物の表面状態を検査する表面検査装置において、上記被検査物がリング状であり、上記被検査物を載置する回転テーブルと、上記被検査物の回転方向に交差する方向へ該被検査物の表面に対して一定の距離を保持した状態で移動する検査光学先端部とを備え、上記検査光学先端部に上記被検査物に対して検査光を略垂直に照射する照光ガイド部材と上記被検査物からの反射光を入射する入光ガイド部材とを設けたことを特徴とする表面検査装置。
Fターム (12件)：
2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051BA20
, 2G051BB11
, 2G051BB17
, 2G051BC04
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CC17
, 2G051DA08
, 2G051EA11
, 2G051EB01
