特許

J-GLOBAL ID：200903023581914321

Crエッチング装置

発明者： 笠井 勉 ,  井上 博之 ,  山本 英明 ,  青木 晃 ,  三間 稔之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-233566
公開番号（公開出願番号）：特開平9-078263
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 Crエッチング液による析出物の被エッチング材への悪影響を防止する。【解決手段】 少なくともCrエッチング液が噴霧されるエッチング槽2が備えられ、このエッチング槽2には搬送されてくる被エッチング部材を内部に導く入口20が設けられているCrエッチング装置において、その内壁面のうち少なくとも前記入口の重力方向と反対側の周辺部分に流体を注ぐ手段が備えられている。

請求項（抜粋）：

少なくともCrエッチング液が噴霧されるエッチング槽が備えられ、このエッチング槽には搬送されてくる被エッチング部材を内部に導く入口が設けられているCrエッチング装置において、その内壁面のうち少なくとも前記入口の重力方向と反対側の周辺部分に流体を注ぐ手段が備えられていることを特徴とするCrエッチング装置。

IPC (7件)：

C23F 1/08 103 ,  C23F 1/08 101 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/306 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (6件)：

C23F 1/08 103 ,  C23F 1/08 101 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/28 E ,  H01L 21/306 F ,  H01L 29/78 612 D