特許
J-GLOBAL ID：200903023582885643
ペースト塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281232
公開番号（公開出願番号）：特開平7-132259
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 ノズル交換でノズル位置が変わっても、ノズルと基板の位置関係を所望に精度良く設定でき、ペーストパータンの正確な描画を可能とする。【構成】 仮の基板をテーブルに載置してその表面の一部をカメラが撮像する。G1がこのカメラの視野である。仮の基板を一定距離X1だけ移動させ、ノズルからペーストを滴下して点状のペースト膜(塗布点)P1を形成し、逆方向に仮の基板を距離X1だけ移動させて塗布点P1をカメラの視野G1内に入れる。このとき、視野G1の中心と塗布点P2の中心とが一致していれば、ノズルは正しい位置にあり、一致していなければ、視野G1を移動させてこの中心が塗布点P2の中心と一致するようにする。これにより、ノズルは正しい位置に設定されたことになる。ペーストパターンを塗布する基板は、まず、そこに付される基準マークが視野G1の中心に合うように、初期位置設定される。
請求項（抜粋）：
ノズルのペースト吐出口に対向するように基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを該ペースト吐出口から該基板上に吐出させながら該ノズルと該テーブルとの相対位置関係を変化させ、該基板上に所望形状のペーストパターンを形成するようにした、ノズルの交換が可能なペースト塗布機において、該ノズルのペースト吐出口の位置を計測する第1の手段と、該第1の手段の計測結果から該ノズルのペースト吐出口の位置ずれ量を算出する第2の手段と、該第2の手段で得られた該位置ずれ量に応じて基板位置決め用カメラを位置調整し、該ノズルのペースト吐出口と基板位置決め用カメラとを予め決められた位置関係に設定する第3の手段とを設け、ノズル交換に伴う該ノズルのペースト吐出口の位置ずれを補正可能に構成したことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (3件)：
B05C 5/00
, B05C 5/00 101
, H05K 3/10
