液晶表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西野卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041201
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241193
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】近年の液晶表示装置は、何十万もの画素数を達成している。しかしゲートやゲートライン上の絶縁層にたった1個のピンホールが生じても容認されない。本願は、このピンホールが有っても良品として救済し、歩留りを向上する事を目的とする。【構成】絶縁層(6)のピンホールに対応したゲートやゲートラインは、抵抗の低いAl(3)を主材料として設けられ、このAlの下層に陽極酸化可能な金属(2)、例えばTaを設けられる。Taの表面に設けられる酸化膜(5)は、Alの陽極酸化のときに形成され、その結果、ピンホールが形成されても不良品とならない。

請求項（抜粋）：

透明な絶縁性基板上に形成されたアルミニウムよりなるゲートと、このゲートと同一材料で且つ一体で形成されたゲートラインと、このゲートおよびゲートラインに形成された陽極酸化膜と、前記ゲートおよびゲートラインを覆うゲート絶縁膜と、前記ゲートを1構成とするTFTの活性層に形成されたノンドープの非単結晶シリコン膜と、前記TFTのソースおよびドレインに対応する前記ノンドープの非単結晶シリコン膜に設けられた高濃度にドープされた非単結晶シリコン膜と、前記ソースに対応するドープされた非単結晶シリコン膜と前記TFTの近傍に形成された表示電極とを電気的に接続するソース電極と、前記ドレインに対応する前記ドープされた非単結晶シリコン膜と電気的に接続され前記ゲートラインと交差する方向に延在されたドレイン電極およびドレイン電極と一体のドレインラインとを少なくとも有する液晶表示装置において、前記アルミニウムよりなるゲートまたは/およびゲートラインの下層に陽極酸化可能な金属を設けたことを特徴とした液晶表示装置。

IPC (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , H01L 27/12 , H01L 29/784

FI (2件)：

H01L 29/78 311 A , H01L 29/78 311 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-001572
特開平3-001572
特開昭62-109957

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