特許
J-GLOBAL ID：200903023607338685
ガイドマスク式プローブ基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201806
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029359
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 プローブの先端を設定された位置に常に正確に配置し、被検査半導体集積回路の端子上でのプローブの先端の滑りを最小限に止める。【構成】 多数のプローブ5の先端5aが並ぶ位置に、フイルム状のガイドマスク7を配置し、ガイドマスク7の、各プローブ5の先端5aの設定された位置に従って設けられたガイド孔8に、各プローブ5の先端5aを貫通させている。これにより、ガイドマスク7のガイド孔8の位置精度を高いものにすることによって、プローブ5の先端5aの位置精度を高める。
請求項（抜粋）：
プリントパターンを有するプリント基板の中央部に、環状のプローブ支持部材を固定し、該プローブ支持部材に、多数のプローブを先端が前記プリント基板の下方を向くように固定したプローブ基板において、前記プローブの先端が並ぶ位置に、フイルム状のガイドマスクを配置し、該ガイドマスクの、各プローブの先端の設定された位置に従って設けられたガイド孔に、各プローブの先端を貫通させたことを特徴とするガイドマスク式プローブ基板。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
