特許
J-GLOBAL ID:200903023609089330

カラーフィルターの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 静男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-063544
公開番号(公開出願番号):特開平7-270612
出願日: 1994年03月31日
公開日(公表日): 1995年10月20日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 平坦化膜の平坦性がより向上したカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 複数の画素5,6,7を備えた透明基板1に所定の溶剤および熱硬化性物質を含有する平坦化膜材料を塗布して膜を形成し、該膜を加熱処理して、平坦化膜11を形成して、カラーフィルターを製造するにあたり、平坦化膜11を形成する工程の前に、平坦化膜材料からなる膜に含有されている前記溶剤を蒸発させて該膜を乾燥させる工程を含み、かつ、この乾燥工程が、前記平坦化膜材料からなる膜を前記溶剤の理論蒸気圧が20〜160mmHgとなる条件下で1〜10分間処理する第1乾燥工程と、その後の前記平坦化膜材料からなる膜を、前記溶剤の理論蒸気圧が1〜10mmHgとなる条件下で、前記理論蒸気圧との積が430mmHg・分以上となる時間だけ処理する第2乾燥工程とを含むことを特徴とする。
請求項(抜粋):
異なった色の着色体層からなる複数の画素を備えた透明基板に所定の溶剤および熱硬化性物質を含有する平坦化膜材料を塗布して前記平坦化膜材料からなる膜を形成する工程と、前記平坦化膜材料からなる膜を加熱処理することにより前記熱硬化性物質を硬化させて平坦化膜を形成する工程とを含むカラーフィルターの製造方法において、前記平坦化膜を形成する工程の前に、前記平坦化膜材料からなる膜に含有されている前記溶剤を蒸発させて該膜を乾燥させる工程を含み、かつ、この乾燥工程が、前記平坦化膜材料からなる膜を前記溶剤の理論蒸気圧が20〜160mmHgとなる条件下で1〜10分間処理する第1乾燥工程と、この第1乾燥工程を経た後の前記平坦化膜材料からなる膜を、前記溶剤の理論蒸気圧が1〜10mmHgとなる条件下で、前記理論蒸気圧との積が430mmHg・分以上となる時間だけ処理する第2乾燥工程とを含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (3件):
G02B 5/20 101 ,  G03F 7/11 502 ,  G03F 7/40 501

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