特許

J-GLOBAL ID：200903023611995712

ノッチ整列方法及びノッチ整列機構並びに半導体製造装置

発明者： 谷藤 保 ,  坂田 一成
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-094584
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299421
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 精度の高い心出しないし心出し機構を必要とすることなく被処理体のノッチ整列を容易に行うことを可能とする。【解決手段】 周縁部にノッチ50を有する被処理体wを回転テーブル51上に載置して回転させ、回転テーブル51の回転角に対応する被処理体wの周縁部の変化量をセンサ52により検出し、その検出データから被処理体wのノッチ50の位置を割り出し、ノッチを任意の位置に合せる。

請求項（抜粋）：

周縁部にノッチを有する被処理体を回転テーブル上に載置して回転させ、回転テーブルの回転角に対応する被処理体の周縁部の変化量をセンサにより検出し、その検出データから被処理体のノッチの位置を割り出し、ノッチを任意の位置に合せることを特徴とするノッチ整列方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

H01L 21/68 M ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 J ,  H01L 21/324 S

Fターム (50件)：

5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031FA25 ,  5F031GA04 ,  5F031GA19 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA32 ,  5F031HA59 ,  5F031HA61 ,  5F031JA01 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA22 ,  5F031JA23 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA32 ,  5F031JA35 ,  5F031JA51 ,  5F031KA03 ,  5F031KA11 ,  5F031KA14 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA15 ,  5F031MA30 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10 ,  5F031NA14 ,  5F045DP02 ,  5F045EM01 ,  5F045EM10 ,  5F045EN06