レーザを用いた固体粒子成分解析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-200265
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038806
出願日： 1996年07月30日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】固体粒子の成分を安価・迅速かつ高精度で計測することができるものとし、この計測結果を用いたボイラ等の制御を可能とする。【解決手段】固体粒子にレーザ光を照射してプラズマ光を発生させるレーザ11と、プラズマ光を入射してスペクトル光を発生し波長分解能の異なる複数の回折格子を有する分光器16と、上記スペクトル光を撮影してその映像を出力する電荷結合素子カメラ17と、上記映像を入力して上記固体粒子の成分を計測するコンピュータ18を備えたことによって、サンプル試料の輸送装置を不要とし、リアルタイムの固体粒子の成分計測を可能にし、また、波長分解能の異なる複数のスペクトルを同時に形成して高精度の固体粒子の成分解析を可能としたため、この計測結果を用いたボイラ等の安価で高精度の制御の実現が可能となる。

請求項（抜粋）：

固体粒子にレーザ光を照射してその成分をプラズマ化させるレーザ、同レーザによりプラズマ化された成分が発生したプラズマ光を入射し互いに異なる波長分解能の複数の回折格子を有する分光器、同分光器のそれぞれの回折格子により分光されたそれぞれのスペクトル光を撮影する高速ゲートが可能な電荷結合素子カメラ、および同カメラが出力した映像を入力してこの映像より上記固体粒子の成分を計測するコンピュータを備えたことを特徴とするレーザを用いた固体粒子成分解析装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-242140
特開平4-366749
分光器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-296296 出願人：株式会社堀場製作所

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