特許
J-GLOBAL ID：200903023622581367
磁気記録媒体とその製造方法及び磁気記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305185
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162491
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】保護膜表面に強固な化学結合によって固定された潤滑性薄膜を形成することにより、耐久性と耐侯性に優れた磁気記録装置を提供することにある。【構成】アルミ基板5のうえにクロム下地膜4、磁気記録膜3、非晶質炭素保護膜2を順次形成し、保護膜最表面をフッ化キセノンのガスで室温にて曝し、最表面にフッ素化薄膜を形成する。【効果】非晶質炭素とフッ化キセノンの反応により、表面にフッ素-炭素結合が形成し、潤滑性を発揮する。
請求項（抜粋）：
少なくとも磁気記録膜と保護膜とを有する磁気記録媒体において、前記保護膜の少なくとも表層部を強固な化学結合で固定されたフッ素含有保護膜で構成して成る磁気記録媒体。
IPC (3件)：
G11B 5/72
, G11B 5/84
, G11B 33/14
