特許
J-GLOBAL ID：200903023628065646
照明光学装置および該装置を備えた露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237779
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063943
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 二次光源の形状または大きさの変更に伴う被照射面における照度分布の変動を補正する。【解決手段】 光源からの光束に基づいて多数の二次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段により形成される多光源の形状または多光源の大きさを変更する変更手段と、該変更手段により設定された所定の形状または所定の大きさを有する多光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを備え、被照射面における照度分布がほぼ均一になるように、変更手段による多光源の形状または多光源の大きさの変更に応じて、コンデンサー光学系の少なくとも一部の光学要素を移動させる。
請求項（抜粋）：
光源からの光束に基づいて多数の二次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段により形成される多光源の形状または多光源の大きさを変更する変更手段と、該変更手段により設定された所定の形状または所定の大きさを有する多光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを備え、前記被照射面における照度分布がほぼ均一になるように、前記変更手段による多光源の形状または多光源の大きさの変更に応じて、前記コンデンサー光学系の少なくとも一部の光学要素を移動させることを特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 521
